EUVL Feedthrough
adehaas
2016-12-27T15:37:52+01:00
Voor ASML het ontwikkelen van een set feedthroughs die met glas geïsoleerd zijn en voldoen aan extreme UHV en UCV eisen voor een nieuw type lithografietechnologie voor de productie van chips: Extreme UltraViolet Lithography (EUVL).
Prioriteit:
Kenniseconomie, ondernemerschap en innovatie (1)
Startdatum:
29-07-2008
Einddatum:
28-02-2010
Begunstigde:
Louwers Glastechniek & Technisch Keramiek B.V.
Adres:
Energieweg 3-A
5527 AH, Hapert
Nederland
EU (EFRO):
€ 120.426
Rijk:
€ 80.284
Noord-Brabant:
€ 40.142
Totaal publiek:
€ 240.852
Totaal privaat:
€ 462.735
Totale subsidiabele kosten:
€ 703.587
Totale subsidiale kosten
Totaal publiek
